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2022年7月26日，由中國工程院、國家制造強國建設(shè)戰(zhàn)略咨詢委員會指導，國家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)專家委員會編制的《產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)創(chuàng)新發(fā)展目錄（2021年版）》（以下簡稱《目錄》），在浙江省寧波市“2022國家制造強國建設(shè)專家論壇”上發(fā)布。國家制造強國建設(shè)戰(zhàn)略咨詢委員會主任周濟院士，國家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)專家委員會主任陳學東院士，工業(yè)和信息化部總經(jīng)濟師許科敏，寧波市市長湯飛帆，紀正昆、張綱等專家共同參加《目錄》的發(fā)布。
《目錄》編制和發(fā)布，是落實《國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠景目標綱要》中“加強產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)能力建設(shè)”的任務(wù)目標。在中國工程院和國家制造強國建設(shè)戰(zhàn)略咨詢委員會指導下，國家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)專家委員會組織60位院士，700余家行業(yè)協(xié)會/學會、高校與科研院所、重點企業(yè)，約1000余位專家參與，歷時6個月研究，召開120余次專題研討會，終形成1047條產(chǎn)品和技術(shù)清單，是參與編制工作的院士和專家們集體智慧的結(jié)晶，是一份十分珍貴的重大成果。
此次《目錄》在《工業(yè)“四基”發(fā)展目錄（2016年版）》基礎(chǔ)上，新增了工業(yè)基礎(chǔ)軟件，構(gòu)成了“五基”（即，基礎(chǔ)零部件和元器件、基礎(chǔ)材料、工業(yè)基礎(chǔ)軟件、基礎(chǔ)制造工藝及裝備、產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)）創(chuàng)新發(fā)展目錄。同時，考慮到產(chǎn)業(yè)發(fā)展和產(chǎn)品技術(shù)迭代，本目錄中的重點領(lǐng)域?qū)討B(tài)修訂，攻關(guān)產(chǎn)品和技術(shù)每3年滾動修訂一次，為社會各界共同推動我國產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)高級化提供參考和指引。
《目錄》中與MEMS技術(shù)相關(guān)的內(nèi)容，主要涉及信息通信設(shè)備領(lǐng)域、高性能醫(yī)療器械領(lǐng)域、儀器儀表領(lǐng)域，如下截圖所示：
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